Bando di gara国立大学法人横浜国立大学

300mmウエハ対応ドライイン/ドライアウトCMP装置

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300mmウエハ対応ドライイン/ドライアウトCMP装置 資料提供招請に関する公表次のとおり物品の導入を予定していますので、当該導入に関して資料等の提供を招請します。令和8年10月30日国立大学法人横浜国立大学長 梅原 出◎調達機関番号 415 ◎所在地番号 14○第3号１ 調達内容(1) 品目分類番号 24(2) 導入計画物品及び数量 300mmウエハ対応ドライイン/ドライアウトCMP装置 一式(3) 調達方法 購入等(4) 導入予定時期 令和10年1月(5) 調達に必要とされる基本的な要求要件300mmウエハに対応した研磨ユニットを2基以上備えるものであること。メタル及び非メタルの両研磨に対応し、スラリーの自動供給機構を具備すること。２ 資料及びコメントの提供方法 上記１(2)の物品に関する一般的な参考資料及び同(5)の要求要件等に関するコメント並びに提供可能なライブラリーに関する資料等

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